Sintesis dan Fabrikasi Sistem Nanoteknologi

Tahun Akademik:
Genap 2019/2020
Kelas-Offr:
E3-N4
Deskripsi:

-         Fabrikasi Micro dan Nano Metallic.

-         Paradigma Top Down Miniaturisasi.

-         Sifat-sifat mekanik hasil fabrikasi nanomaterial.

-         Fabrikasi Microelectromechanical System (MEMS).



Capaian Pembelajaran

  • Mahasiswa memahami fabrikasi nanomaterial dan karakterisasi sifat mekaniknya.


Daftar Pustaka:

  • Cerofilini, G.F. Nanoscale Devices. 2009. Springer.


  • Saka, Masumi. Metallic Micro and Nano Materials. Fabrication and Atomic Diffusion. 2011. Springer.